| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZGivnJVY/NeMwk |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/11.22.18.02 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2006:11.22.18.04.10 (UTC) marciana |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/11.22.18.02.10 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.17.06 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-14326-PRE/9414 |
| ISSN | 0093-3813 |
| Chave de Citação | KostovBarr:2006:NuSiMa |
| Título | Numerical simulation of magnetic-field-enhanced plasma immersion ion implantation in cylindrical geometry  |
| Ano | 2006 |
| Mês | Aug |
| Data de Acesso | 18 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 414 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Kostov, Konstantin G. 2 Barroso, Joaquim José |
| Grupo | 1 2 LAP-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 UNESP 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 kostov@feg.unesp.br 2 barroso@plasma.inpe.br |
| Revista | IEEE Transactions on Plasma Science |
| Volume | 34 |
| Número | 4 |
| Páginas | 1127-1135 |
| Histórico (UTC) | 2006-11-22 18:04:10 :: simone -> administrator :: 2008-06-10 22:44:04 :: administrator -> simone :: 2011-05-21 12:01:36 :: simone -> administrator :: 2014-04-16 17:25:24 :: administrator -> marciana :: 2006 2014-08-19 18:45:46 :: marciana -> administrator :: 2006 2018-06-05 01:17:06 :: administrator -> marciana :: 2006 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Palavras-Chave | ion implantation magnetic field effects plasma materials processing applications plasma sheaths SHEATH THICKNESS DISCHARGE DYNAMICS ELECTRONS MODEL |
| Resumo | Recent studies have demonstrated that the sheath dynamics in plasma immersion ion implantation (PIII) is significantly affected by an external magnetic field. In this paper, a two-dimensional computer simulation of a magnetic-field-enhanced PHI system is described. Negative bias voltage is applied to a cylindrical target located on the axis of a grounded vacuum chamber filled with uniform molecular nitrogen plasma. A static magnetic field is created by a small coil installed inside the target holder. The vacuum chamber is filled with background nitrogen gas to form a plasma in which collisions of electrons and neutrals are simulated by the Monte Carlo algorithm. It is found that a high-density plasma is formed around the target due to the intense background gas ionization by the magnetized electrons drifting in the crossed E x B fields. The effect of the magnetic field intensity, the target bias, and the gas pressure on the sheath dynamics and implantation current of the PHI system is investigated. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > Produção anterior à 2021 > LABAP > Numerical simulation of... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | Numerical simulation of magnetic field.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator marciana simone |
| Grupo de Leitores | administrator marciana |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | denypublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX; IEEEXplore. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel doi e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |